در این فرآیند معمولاً یک یا چند گاز در فشار پایین وارد راکتور شده و بین آن ها، بر روی سطح یا نزدیک زیرلایه، واکنشی صورت می گیرد. البته به دلیل ماهیت بعضی از گازها در ایجاد محصولات سمی و یا خورنده، در خلال فرآیند انباشت، بایستی درانتخاب گازهای مورد...